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結(jié)合了十多年的包裝光學特性專門知識，三維光學輪廓儀ContourSP大型面板計量系統(tǒng)使高密度互連PCB(HDI-PCB)基板的測量吞吐量比上一代WLI儀器提高了一倍以上。該系統(tǒng)專門設計用于測量制造過程中PCB面板的每一層，并包含了一系列先進的功能，為半導體封裝行業(yè)提供了*大的生產(chǎn)性能、方便、可靠性和吞吐量。具有量規(guī)能力的三維光學輪廓儀ContourSP使用了一個直觀的生產(chǎn)界面，提供了快速和簡單的基準對齊與可配置的用戶輸入。
不匹配精度
憑借其新的耐振系統(tǒng)設計和**的Wyko垂直掃描干涉術(VSI)成像，具有量規(guī)能力的三維光學輪廓儀ContourSP系統(tǒng)以納米分辨率執(zhí)行極其**的三維臨界尺寸(CD)測量。這種能力，加上廣泛的自動化，使三維光學輪廓儀ContourSP多任務，既是一個強大的表面紋理計量儀器，以及一個易于使用的缺陷檢測工具。
流線型操作與分析
三維光學輪廓儀ContourSP直觀的生產(chǎn)界面提供了快速和簡單的基準對齊與可配置的用戶輸入。除了傳遞/失敗信息之外，用戶現(xiàn)在還可以選擇詳細的參數(shù)結(jié)果，以便在摘要屏幕上顯示。Vision 64軟件為工程師、技術人員和操作人員提供了完全的訪問控制，具有簡單的協(xié)調(diào)文件導入功能，保證了系統(tǒng)到系統(tǒng)的配方可移植性和快速文件創(chuàng)建。
適合面板計量的大面積可測量區(qū)域
該系統(tǒng)利用Bruker**性的基于龍門的設計和集成工作站，以高度緊湊的足跡支持多達600x600毫米的樣本。專門為生產(chǎn)面板計量設計的軟件幫助制造工程師和操作員充分利用獨特的光學剖面特征，包括動態(tài)信號分割、重測量功能、地形掃描以補償晶圓弓、坐標文件導入、ESD、面板ID讀取和模式識別。
